Nanotechnologie bzw. Effekte der Nanotechnologie werden schon seit langer Zeit von der Menschheit verwendet: In Mesopotamien und Ägypten wurden bereits vor 3.400 Jahren funkelnde Oberflächen auf Keramiken mit metallischen Nanopartikeln erzeugt. Der seit 2.000 Jahren hergestellte Damaszenerstahl verdankt zum Beispiel seine speziellen Eigenschaften Kohlenstoffnanoröhrchen, die bei dem aufwendigen Herstellungsprozess im Stahl entstehen. Die Römer dichteten ihre günstigen Alltagskeramiken mit Hilfe von Nanopartikeln ab. Im Mittelalter verwendete man für rote Kirchenfenster Glas mit Gold-Nanopartikeln, die Ursprünge der Herstellung von diesem sogenannten Rubinglas sind jedoch viel älter.
Allerdings ist bei all diesen Beispielen die Verwendung von Effekten der Nanotechnologie rein zufällig erfolgt. Die eigentlichen Ursprünge der Nanowissenschaften und der Nanotechnologie liegen in der Mitte des letzten Jahrhunderts.
29.12.1959
Richard Feynman hält vor der Amerikanischen Physikalischen Gesellschaft die visionäre Rede "There‘s Plenty of Room at the Bottom" (Es ist viel Platz da unten), in der er viele Aspekte der Nanotechnologie vorhersagt.
1968
Alfred Y. Cho und John Arthur von den Bell-Laboratorien entwickeln ein Standard-Werkzeug der heutigen Nanotechnologie, die Molekularstrahlepitaxie, eine Technik, um einzelne Atomschichten abzuscheiden.
1974
Der japanische Ingenieurwissenschaftler Norio Taniguchi prägt das erste Mal den Begriff "Nanotechnologie". Der Terminus umfasst für ihn eine Veränderung von Materialien mit extrem hoher Präzision bis zu Veränderungen Atom für Atom.
1981
Gerd Binnig und Heinrich Rohrer bauen das erste Rastertunnelmikroskop. Mit diesem Gerät lassen sich einzelne Atome einer elektrisch leitfähigen Oberfläche abbilden (Nobelpreis für Physik 1986).
1986
Gerd Binnig, Calvin Quate und Christoph Gerber präsentieren das erste Rasterkraftmikroskop. Dieses Mikroskop ermöglicht auch die Abbildung elektrisch nicht leitfähiger Materialien zunächst auf wenige Nanometer genau, später mit atomarer Auflösung.
1986
Unabhängig von Taniguchi macht Eric Drexler den Begriff "Nanotechnologie" weithin bekannt. Obwohl Drexlers Vision damals wie heute von vielen Wissenschaftlern skeptisch gesehen wird, inspiriert er mit seinem Buch "Engines of Creation" viele Forscher, sich intensiv mit der Nanotechnologie zu beschäftigen.
1990
Donald Eigler und Erhard Schweizer gelingt es, mit Hilfe eines Rastertunnelmikroskops einzelne Atome zu bewegen. Sie "schreiben" das IBM-Logo mit 35 Xenonatomen auf einen Nickelkristall.
1991
Der Japaner Sunio Iijima entdeckt Kohlenstoffnanoröhrchen, wenige Nanometer kleine Röhrchen aus Kohlenstoff mit ungewöhnlichen Eigenschaften. Sie könnten sowohl für elektronische Bauelemente in molekularer Größenordnung als auch zur Herstellung besonders leichter und fester Nanomaterialien verwendet werden.